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ALICAT 氣體質(zhì)量流量控制器 21系列

ALICAT 氣體質(zhì)量流量控制器 21系列

簡(jiǎn)要描述:生物安全柜如何檢測和驗證 1:什么是生物安全柜 生物安全柜是實(shí)驗室生物安全的一級安全隔離屏障,也是實(shí)驗室較為關(guān)鍵的安全防護設備。是防止操作過(guò)程中含有危險性生物氣溶膠散逸負壓空氣凈化排風(fēng)柜,生物安全柜最主要和關(guān)鍵的部件是高效空氣過(guò)濾器(HEPA)。 2:生物安全柜的用途

產(chǎn)品型號:21系列

所屬分類(lèi):alicat氣體質(zhì)量流量控制器

更新時(shí)間:2023-11-03

詳情介紹

ALICAT 氣體質(zhì)量流量控制器 21系列

量程0.5 SCCM - 6000 SLPM,優(yōu)于1 %的精度,量程可控比寬,優(yōu)于30 ms響應時(shí)間

美國ALICAT 21系列標準型質(zhì)量流量控制器,采用內部補償型層流壓差技術(shù),使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動(dòng)。內置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異,并對用戶(hù)標準工況進(jìn)行修正。具有NIST可溯源校準證書(shū)。

可用于快速精確地測量并控制過(guò)程氣體的質(zhì)量流量、體積流量、壓力,并顯示氣體溫度,適用于多種流量測控場(chǎng)合。設備采用快速穩定的優(yōu)質(zhì)電磁閥以及優(yōu)化的PID調校,可達到優(yōu)于100 ms的控制速度,并保持極佳穩定性,并有超低壓損產(chǎn)品可供您選擇。

應用及案例


● 大學(xué)/研究所                  ● 環(huán)境監測

● 真空行業(yè)及鍍膜            ● 工業(yè)爐窯

● 半 導   體                      ● 汽車(chē)制造

● 光       伏                      ● 燃料電池

● 計量校準                      ● 過(guò)程工藝氣體測量


產(chǎn)品特色


● 數字化產(chǎn)品

● 多參數顯示和輸出:溫度、壓力、流量等

● 多參數控制,如體積流量、質(zhì)量流量和壓力

● 標配三種控制方式:數字、模擬和本地面板

● 可選高精度:優(yōu)于0.5%讀數

● 量程可控比寬,0.01~100%滿(mǎn)量程

● 響應時(shí)間快,優(yōu)于30 ms

● 內置98種氣體

● 可現場(chǎng)編輯混合氣體(最多5種成分),并最多存儲20種混合氣



精度升級


量程為0.5 SCCM -6000 SLPM,

其中10 SCCM - 20 SLPM量程段,下述指標升級:

質(zhì)量流量普通精度    ± 0.6% 讀數或± 0.1% 滿(mǎn)量程(取最大值)

質(zhì)量流量高精度      ± 0.5% 讀數或± 0.1% 滿(mǎn)量程(取最大值)

重復性              ±(0.1% 讀數 + 0.02% 滿(mǎn)量程)

質(zhì)量流量零點(diǎn)漂移    ± 0.01%滿(mǎn)量程/ ℃(從25℃開(kāi)始)

                    ± 0.01%滿(mǎn)量程/ Atm(從校準壓力開(kāi)始)

質(zhì)量流量量程漂移    ± 0.01%讀數/ ℃(從25℃開(kāi)始)

                    ± 0.1 %讀數/ Atm(從校準壓力開(kāi)始)



技術(shù)指標


介質(zhì)要求    非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

介質(zhì)種類(lèi)    內置了98種氣體,請參考氣體兼容表

            一臺設備內置所有氣體,用戶(hù)可現場(chǎng)選擇

量    程       從0-0.5 SCCM 到 0-6000 SLPM(詳情請咨詢(xún))

量程可控比(穩態(tài))    0.01~100%滿(mǎn)量程

最大顯示流量    128 %滿(mǎn)量程

最大可控流量    102.4 %滿(mǎn)量程

顯 示 屏    帶背光燈按鍵,標準為L(cháng)CD黑白顯示屏(帶背光),可選TFT彩色顯示屏

顯示方式    同時(shí)顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

精    度    ±(0.8 %讀數 + 0.2 %滿(mǎn)量程)精度升級部分見(jiàn)左下角

            ±(0.4 %讀數 + 0.2 %滿(mǎn)量程)(可選)

累計流量精度    流量精度之外增加±0.5%讀數的額外誤差

重 復 性    ±(0.2% 讀數 + 0.02% 滿(mǎn)量程)

質(zhì)量流量溫度零點(diǎn)和滿(mǎn)量程漂移    0.02%滿(mǎn)量程/ ℃(從25℃開(kāi)始)

質(zhì)量流量壓力零點(diǎn)和滿(mǎn)量程漂移    ±(0.08 % 讀數 + 0.02 % 滿(mǎn)量程)/ Atm(從校準壓力開(kāi)始)

控制響應時(shí)間    30ms(與流量相關(guān),用戶(hù)可調)

顯示響應時(shí)間    <10ms(與流量相關(guān))

預熱時(shí)間    <1s

默認標況(STP)    25 ℃&1Atm(其它標況可調)

工作溫度    -10 ~ 60 ℃(可選高溫/低溫選項)

溫度精度    ± 0.75℃

工作濕度    0 ~ 95 %,無(wú)冷凝

最大工作壓力    1 MPa表壓

最低操作壓力    如果不做真空特殊標定,建議在絕壓80KPa以上使用;其他真空壓力建議做特殊標定

壓力精度    ±0.5%讀數(>1Atm),或±0.07PSIA(<1Atm)

滿(mǎn)量程壓損    參考詳細壓損表

數據刷新頻率    數字信號40Hz@19200波特率;

                模擬信號:1000Hz

屏幕刷新頻率    10Hz

數字輸入/輸出信號    RS232、RS485、Modbus RTU(RS232/RS485)、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus

模擬輸入/輸出信號    0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

可選第二路模擬輸出    質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

模擬信號精度    在基礎誤差上額外增加±0.1%滿(mǎn)量程的誤差

供電電壓     12-30 VDC (如選4-20 mA輸出,須為15-30 VDC )

供電電流    250 mA,1 A,2 A(詳情咨詢(xún))

            額外加 40 mA( 4 - 20 mA)

電氣接口    DB9M,可選DB15、6針工業(yè)接頭、8針Mini-DIN等

泄漏率(外漏)    選擇HLC選項,泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He

材    質(zhì)   302、303、304、316L、430FR不銹鋼、FKM、硅橡膠、環(huán)氧樹(shù)脂、聚酰胺、玻璃、硅、銅、金、陶瓷

             R閥門(mén)430FR不銹鋼替換為410不銹鋼

過(guò)程連接    標準為NPT內螺紋,詳情參考壓損表

安裝位置    小閥門(mén)無(wú)要求,R閥門(mén)需閥體垂直向上安裝

防護等級    IP40(IP66可選)

認    證    ISO 9001、NIST溯源認證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA (可選)



選項配件


標準性能
多功能數字顯示屏
顯示多種測量參數:質(zhì)量流量、體積流量、溫度和壓力
低壓損
無(wú)需預熱
Viton密封
8針mini-DIN電信號接口
標準圓形電源接口
RS-232多點(diǎn)式數字輸出
RS-232多點(diǎn)式數字輸入
0-5Vdc、0-10Vdc或1-5Vdc 多種模擬信號輸出可選
0-5Vdc、0-10Vdc、1-5Vdc或4-20mA模擬信號輸入可選
可調節PID算法 
內置30種氣體可選
200:1 量程可調比
NPT接頭
可控制從0.5SCCM到3000SLPM的滿(mǎn)量程的任何流量
有條件的終身質(zhì)保


可選性能
高精度
累加器
6針、DB9或DB15電信號接口
ProfiBUS數字信號輸出
RS-485數字信號輸出
4-20mA模擬信號輸出
第二種模擬信號輸出
TFT背光彩色顯示屏
遠程顯示屏
遠程TFT背光彩色顯示屏
丙烯酸絕緣涂層
EPDM密封
NeSSI本體
氧氣清潔
用于高溫環(huán)境的遠程電子包裝
SAE接頭
VCR, VCO接頭
5VDC、12VDC、24VDC排氣量報警(過(guò)高或過(guò)低)
雙向流動(dòng)
額外標定點(diǎn)
定制混個(gè)氣體(最多4種)
定制流量范圍
不銹鋼閥門(mén)
高流量低壓損閥門(mén)
防爆選項
集成式電位計控制


操作手冊


朗潤達-ALICAT 簡(jiǎn)易操作說(shuō)明-氣體質(zhì)量流量控制器22V1.pdf



機構認證



尺寸詳圖


                         ALICAT 21系列18V1.jpg




尺寸圖-MCRH-5000SLPM-D.jpg



尺寸壓損


滿(mǎn)量程質(zhì)量流量控制器

滿(mǎn)量程壓損1(psid)

排氣到大氣中

外觀(guān)尺寸

連接接口2

0.5 sccm - 50 sccm

1.0

3.9''H ×3.4''W ×1.1''D

M-5 (10-32)(內螺紋)3

100 sccm - 500 sccm

1.0

4.1''H ×3.6''W ×1.1''D

1/8''NPT內螺紋

1 slpm

1.5

2 slpm

3.0

5 slpm

2.0

10 slpm

5.5

20 slpm

20.0

50 slpm

2.0

5.5''H ×7.7''W ×2.3''D

1/4''NPT內螺紋

100 slpm

3.2

250 slpm

2.4

5.5''H ×7.7''W ×2.3''D

1/2''NPT內螺紋

500 slpm

6.5

5.5''H ×7.4''W ×2.3''D

3/4''NPT內螺紋

(2000 SLPM 可選配1-1/4''NPT內螺紋)

1000 slpm

14.0

1500 slpm

17.0

5.5''H ×8.1'W ×2.9''D

2000 slpm

28.6

3000 slpm

16.8

5.5''H ×8.9''W ×2.9''D

1-1/4''NPT內螺紋

5000 slpm

14.1

6.3''H ×10.0''W ×4.5''D

1-1/2''NPT內螺紋

1、另有低壓損系列質(zhì)量流量控制器。

2、與Beswick?,Swagelok?管,Parker?,表面密封,快接接頭和卡套轉接頭相兼容,也可以按照用戶(hù)需求與VCR,SAE接頭相兼容。

3、Buna-N表面密封至1/8''NPT內螺紋。



產(chǎn)品大圖

質(zhì)量流量控制器-標準型-MC-21.png



型號列表


見(jiàn)“尺寸連接”。



氣體編碼


選型表截圖長(cháng)圖.png

混合氣體編碼為“800”,選項中須有具體混合氣體比例說(shuō)明。

對于液體流量計和控制器,液體指純水,液體編碼為“900”。

* ALICAT非抗腐蝕流量計/控制器產(chǎn)品,可支持①類(lèi)氣體。

* ALICAT抗腐蝕流量控制器產(chǎn)品,可支持①、②類(lèi)氣體。

* ALICAT抗腐蝕流量計產(chǎn)品,可支持①、②、③類(lèi)氣體。

未在表中列出的氣體,也可能被測控,具體請咨詢(xún)我們。



宣傳彩頁(yè)


ALICAT 20系列23V1.pdf




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